缓解企业用水问题 实现研磨废水有效处理
电子信息业(ye)是一项前景非常广(guang)阔的新(xin)兴产业(ye),被我国誉为(wei)“朝阳(yang)产业(ye)”。在晶棒、晶圆制造过程中,需要经过切割、研磨、划片、减(jian)薄、化学研磨平坦(tan)化(CMP)等工艺(yi),产品经过清(qing)洗后会产生(sheng)大量研磨废(fei)水。
不同于(yu)一般工(gong)业废(fei)(fei)水(shui)(shui),研磨废(fei)(fei)水(shui)(shui)是(shi)一种高(gao)浓(nong)度的(de)(de)无机(ji)废(fei)(fei)水(shui)(shui),其主(zhu)要污染物(wu)是(shi)粒径(jing)极小(xiao)且不易沉降的(de)(de)稳定悬浮颗粒,所述(shu)清洗废(fei)(fei)水(shui)(shui)所含的(de)(de)污染物(wu)浓(nong)度较低,COD质量浓(nong)度110~150mg/L,水(shui)(shui)量较大,水(shui)(shui)质呈(cheng)弱碱(jian)性,生成能力差。因(yin)为研磨制造(zao)工(gong)艺是(shi)电子企(qi)业生产的(de)(de)重要环节,因(yin)此研磨废(fei)(fei)水(shui)(shui)的(de)(de)处理成为电子企(qi)业必须面对的(de)(de)一个难题。
莱(lai)特莱(lai)德根据(ju)研磨废水(shui)的(de)特点(dian),合(he)理制定(ding)(ding)处(chu)(chu)理工(gong)(gong)艺,在(zai)系(xi)统预处(chu)(chu)理部分结合(he)安拜芮特种药(yao)剂(ji),以(yi)提高PAC和PAM的(de)絮凝效(xiao)果,有效(xiao)去除(chu)水(shui)中少量(liang)悬浮物(wu)和不溶性硅。合(he)理的(de)预处(chu)(chu)理工(gong)(gong)艺搭配(pei)膜(mo)(mo)法(fa)分离(li)系(xi)统,使后(hou)续膜(mo)(mo)系(xi)统处(chu)(chu)理效(xiao)果显着,减少了后(hou)续膜(mo)(mo)系(xi)统的(de)清(qing)洗次数,确保(bao)膜(mo)(mo)系(xi)统长期稳定(ding)(ding)运行。
工艺流程:
研磨废(fei)水→调(diao)节池→一(yi)体化净水设备→MMF过滤器→UF装置(zhi)→反渗透装置(zhi)→回用至工艺用水
工艺优势:
1、特种(zhong)药剂(ji)投加,保证絮凝效果(guo)。
2、微絮凝滤膜(mo)技(ji)术,出水(shui)水(shui)质好。
3、膜系统运(yun)行稳定,运(yun)行周期长。
经过系统处(chu)(chu)理的(de)(de)研磨废水可以全部回用(yong)于车(che)间的(de)(de)前期清洗(xi)工序,不仅降低了工厂废水对环(huan)(huan)境的(de)(de)污染(ran),而且有(you)效地减(jian)少了区域(yu)水资源的(de)(de)利用(yong),缓解企业(ye)用(yong)水问(wen)题(ti)。莱特(te)莱德可根据用(yong)户要求定(ding)制(zhi)(zhi)性(xing)价比更好(hao)的(de)(de)研磨废水处(chu)(chu)理工艺,从(cong)制(zhi)(zhi)造到生产(chan)(chan)确保各工艺环(huan)(huan)节得到有(you)效控(kong)制(zhi)(zhi),循环(huan)(huan)的(de)(de)生产(chan)(chan)方式,有(you)效的(de)(de)帮助(zhu)工业(ye)领域(yu)的(de)(de)客户提高生产(chan)(chan)效率(lv)、实现清洁生产(chan)(chan)和节能环(huan)(huan)保。
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