莱特莱德集装箱海水淡化设备顺利完成出厂验收工作
半(ban)导(dao)体的生产需要经过8个主(zhu)要工序(xu)。超(chao)纯(chun)(chun)水(shui)主(zhu)要用于半(ban)导(dao)体制造中某些工序(xu)前后(hou)的清洗。例如,在蚀刻工艺之后(hou),切割晶(jing)圆(yuan)并(bing)用超(chao)纯(chun)(chun)水(shui)清洗残余碎片。或(huo)者,在离(li)子(zi)注(zhu)入过程之后(hou),清洁(jie)残余离(li)子(zi)。此外,超(chao)纯(chun)(chun)水(shui)还可用于晶(jing)圆(yuan)抛(pao)光或(huo)晶(jing)圆(yuan)切割。
超纯水(shui)是一种用(yong)(yong)于半导体制造过(guo)程中的洗涤剂(ji)。那么,在(zai)半导体生(sheng)产中使用(yong)(yong)超纯水(shui)会有什(shen)么影响呢?在(zai)用(yong)(yong)纳米超精细(xi)工(gong)艺(yi)处理半导体时(shi),如(ru)果在(zai)各种工(gong)艺(yi)前(qian)后留下一个小颗粒(li),则会导致误差。因此,在(zai)各种工(gong)艺(yi)前(qian)后用(yong)(yong)超纯水(shui)清洗晶(jing)圆(yuan)可以确(que)保清洁度并提(ti)高半导体生(sheng)产率(输出)。
随(sui)着(zhe)半(ban)导(dao)(dao)(dao)体(ti)(ti)工业的不(bu)(bu)断发展(zhan),对(dui)清洁水(shui)(shui)(shui)的电导(dao)(dao)(dao)率、离子含量、TOC、do和颗粒(li)物的要求越来越严(yan)格。由于超(chao)(chao)纯(chun)水(shui)(shui)(shui)在许多(duo)指标(biao)上(shang)对(dui)半(ban)导(dao)(dao)(dao)体(ti)(ti)的要求很高,因此半(ban)导(dao)(dao)(dao)体(ti)(ti)行(xing)(xing)业的超(chao)(chao)纯(chun)水(shui)(shui)(shui)与其他行(xing)(xing)业的用水(shui)(shui)(shui)要求不(bu)(bu)同。半(ban)导(dao)(dao)(dao)体(ti)(ti)行(xing)(xing)业对(dui)超(chao)(chao)纯(chun)水(shui)(shui)(shui)有极其严(yan)格的水(shui)(shui)(shui)质要求。目前,我国常用的超(chao)(chao)纯(chun)水(shui)(shui)(shui)标(biao)准(zhun)有国家(jia)标(biao)准(zhun)《电子级水(shui)(shui)(shui)》(GB/T 11446.1-2013)和美标(biao)。
在半导体生产过(guo)程中,硼是一种p型杂质。过(guo)量会使n型硅反转,从(cong)而影响电子和空(kong)穴的(de)浓(nong)度。因此,在超纯水工业中应充分考虑硼的(de)去除(chu)。硼离美(mei)标(biao)中e1.3中要求小于(yu)0.05。如(ru)果硼离子含量能够(gou)达到较低的(de)指标(biao),则必然(ran)会提(ti)高半导体的(de)性能。
Huncotte系(xi)统(tong)选用核(he)级树(shu)脂(zhi),可通过独特的靶向离(li)子交(jiao)换树(shu)脂(zhi)有效控(kong)制系(xi)统(tong)出(chu)水(shui)的硼(peng)(peng)离(li)子含量。采用IPC-MS检测硼(peng)(peng)离(li)子含量,并(bing)对(dui)硼(peng)(peng)离(li)子流出(chu)物进行分析≤ 0.005μG/L远(yuan)低于美标E1.3中要求的硼(peng)(peng)离(li)子含量。
今日,莱(lai)特莱(lai)德集(ji)装箱(xiang)海(hai)水淡化设备已出厂验收。莱(lai)特莱(lai)德集(ji)装箱(xiang)海(hai)水淡化设备解决了空间限(xian)制,安(an)装方便、体积小、操作简单。
目(mu)前(qian),在水资源(yuan)紧缺(que)的情况下,加强海水淡化(hua)(hua)的国产化(hua)(hua)技术研发(fa),在水资源(yuan)再利用方(fang)面(mian),推广海水淡化(hua)(hua)设备显得尤为重要(yao),并且现代海水淡化(hua)(hua)设备也渐渐步入了(le)现代这个(ge)快速发(fa)展的时代,其有效性(xing)(xing)和(he)可靠性(xing)(xing)也越来(lai)越被(bei)人们所认可。
集装箱(xiang)式海水淡化设备(bei)的优势(shi)如何?
1、集装箱式海(hai)水淡化(hua)设备采(cai)用反渗透分离技(ji)术(shu)进行海(hai)水淡化(hua)脱盐,工艺流程和操作(zuo)参数(shu)通过计(ji)算机进行优(you)化(hua)设计(ji)。
2、海(hai)水淡化脱盐工(gong)艺无需海(hai)水加温,运(yun)行于常温下,无相变现象(xiang),因(yin)此能耗低,制水成本低。
3、设(she)计时充分考(kao)虑船舶的特(te)殊(shu)性,体积(ji)小(xiao),重量轻,占(zhan)用(yong)省、安装(zhuang)方便、适(shi)应性强(qiang),可(ke)在狭小(xiao)的舱室内(nei)安装(zhuang)。机架管路、管件采(cai)用(yong)316不锈钢及耐蚀材料(liao)制(zhi)作。
4、集装箱式海水(shui)淡(dan)化(hua)设备操作简单,维修方便,只要有电、有海水(shui),启(qi)动后就能立即(ji)提供淡(dan)水(shui)。
莱特莱德集(ji)装(zhuang)箱式(shi)海(hai)水(shui)淡(dan)化设(she)备(bei)采用(yong)超滤膜装(zhuang)置对海(hai)水(shui)进行预处理(li),然后把含(han)有盐(yan)类的海(hai)水(shui)通过反渗透(tou)装(zhuang)置加压,除去(qu)海(hai)水(shui)中(zhong)所含(han)盐(yan)、菌(jun)等有机物(wu)质,并(bing)进行杀菌(jun)处理(li)。同时也能缓解偏远地区(qu)居(ju)民对饮用(yong)水(shui)的需(xu)求。
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